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高真空扩散泵机组

高真空油扩散泵真空机组

　　一、产品概述

　　高真空油扩散泵真空机组以油扩散泵为主抽泵，搭配旋片真空泵/罗茨真空泵作为前级预抽泵，依靠真空泵油的喷射效应实现高真空区间抽气，机组无内部运动摩擦部件，运行稳定、噪音低、维护成本低，极限真空度可达 2×10^{-4}Pa以下，加装冷阱后可提升至 5×10^{-5}Pa，工作压力覆盖 10^{-2}Pa- 10^{-7}Pa，是半导体制造、光学真空镀膜、真空烧结、空间模拟、电子器件封装、科研实验等领域的核心高真空设备。

　　机组标配水冷挡板、真空阀门、油气捕集器、智能控制柜，可有效抑制油蒸汽返流，保障真空工艺洁净度，同时具备缺水保护、超温报警、断电自动防护等功能，可24小时连续稳定运行，适配工业量产与实验室精密真空需求。

产品详情

　　二、核心基础参数

参数名称

技术指标

备注说明

极限真空度

≤ 2×10^{-4}Pa（常规款）；≤ 5×10^{-5}Pa（冷阱款）

采用专用高真空硅油，无返流工况下实测值

抽气速率

80-16000L/s

覆盖小型实验室、中型工业、大型量产全场景

工作压力范围

 10^{-2}Pa- 10^{-7}Pa

最佳高效抽气区间： 10^{-3}Pa- 10^{-4}Pa

前级泵启动压力

≤5Pa（旋片泵）；≤1Pa（罗茨+旋片）

前级预抽达标后，方可启动扩散泵加热

扩散泵加热功率

0.55-24kW

分档控温，大功率款可选变频节能模式

冷却方式

扩散泵泵体+挡板水冷，冷阱款可选液氮制冷

冷却水温度10-35℃，流量≥200L/h

运行噪音

≤55dB（小型）；≤70dB（大型）

标配减震基座，无振动异响

工作环境

温度-10℃-55℃，湿度≤90%RH（无凝露）

适配车间、实验室等常规工况

安全保护装置

缺水报警、超温断电、油位监测、防返流逆止阀

杜绝泵体干烧、油蒸汽返流损坏工艺件

　　三、核心结构配置

　　1.主泵（扩散泵）：多级喷嘴（4-5级）设计，泵体采用不锈钢/高强度铝合金，专用高真空硅油，无运动部件，使用寿命长

　　2.前级泵：标配2XZ/2X系列双级旋片泵，大抽速款选配罗茨+旋片组合，完成大气压到中低真空预抽

　　3.真空辅件：水冷挡板/冷帽、高真空挡板阀、真空管路、油气过滤器、真空压力表/电离真空计

　　4.控制系统：独立电控柜，可实现自动启停、温度调控、故障报警、真空度实时监测

　　5.接口规格：进气口DN100-DN1000（ISO-K/KF快装法兰），冷却水接口G1/2"-G2"国标螺纹

　　四、典型型号技术参数表

机组型号

抽气速率(L/s)

极限真空(Pa)

扩散泵加热功率(kW)

前级泵配置

进气口径(DN)

整机重量(kg)

运行噪音(dB)

JK-100

80

≤ 2.7×10^{-4}

0.55

2XZ-4B

100

180

≤55

JK-200T

600

≤ 2.7×10^{-4}

1.8

2X-15

200

320

≤58

JK-300T

1400

≤ 2.7×10^{-4}

3.0

2X-30

300

480

≤60

JK-400T

2600

≤ 2.7×10^{-4}

5.0

2X-70

400

650

≤62

JK-500TD

3800

≤ 2.7×10^{-4}

6.9

2X-70

500

820

≤65

JK-600T

5600

≤ 2.7×10^{-4}

8.4

2X-70

600

980

≤65

JK-800

10000

≤ 2.7×10^{-4}

8.4

2X-70×2

800

1200

≤68

JK-800TD

12000

≤ 2.7×10^{-4}

15

2X-150×2

800

1350

≤68

JK-1000TD

13000

≤ 2.7×10^{-4}

24

2X-150×2

1000

1600

≤70

JK-1200

16000

≤ 2.7×10^{-4}

24

2X-150×2

1000

1850

≤70

　　五、适用工况与定制服务

　　（一）适用场景

　　6.半导体微电子：晶圆镀膜、芯片封装、光刻工艺真空系统

　　7.真空镀膜：光学镜片镀膜、五金装饰镀膜、卷绕镀膜、金属蒸镀

　　8.材料处理：真空烧结、真空退火、真空钎焊、稀有金属熔炼

　　9.科研实验：空间环境模拟、材料真空脱气、质谱仪、光谱分析配套

　　10.工业生产：光伏电池制造、电子管封装、真空干燥提纯

　　（二）定制选项

　　11.洁净度升级：加装液氮冷阱，降低油蒸汽返流，适配超高洁净真空需求

　　12.防腐定制：泵体及管路采用304/316L不锈钢，适配微量腐蚀性气体工况

　　13.节能改造：变频加热控制系统，降低能耗20%-30%

　　14.自动化升级：PLC智能控制、远程监控、对接工厂MES系统

　　15.非标定制：特殊口径、特殊抽速、立式/卧式安装方式定制

　　六、运行维护注意事项

　　16.启动顺序：先开冷却水→启动前级泵→预抽至≤5Pa→开启扩散泵加热→真空度达标后开高真空阀

　　17.运行监控：实时监测冷却水流量、泵体温度、真空度，严禁缺水、超温运行

　　18.维护周期：每6个月更换一次扩散泵硅油，每年检查加热元件、密封件、真空阀

　　19.停机顺序：关闭扩散泵加热→继续冷却水循环30分钟→关闭前级泵→关闭冷却水→封堵真空接口

　　20.冬季防护：长期停机需排空泵体及管路冷却水，防止冻裂设备

　　七、常见故障排查表

故障现象

故障原因

解决方法

真空度达不到指标

1. 扩散泵油变质/油量不足；2. 管路或阀门漏气；3. 水冷挡板堵塞；4. 前级泵故障

1. 更换新硅油，补充至标准油位；2. 检测漏点，修复密封；3. 清理挡板油污；4. 检修前级泵

油蒸汽返流严重

1. 水冷挡板未通水/冷却不足；2. 扩散泵加热温度过高；3. 未加装冷阱

1. 保障冷却水正常循环；2. 调低加热功率，控制油温；3. 加装液氮冷阱

扩散泵加热升温慢

1. 加热元件损坏；2. 电路接触不良；3. 电压不足

1. 更换加热管；2. 检修电路接头；3. 稳定供电电压

机组运行异响

1. 前级泵转子卡死/润滑不足；2. 减震基座松动；3. 管路共振

1. 检修前级泵，补充泵油；2. 紧固减震螺栓；3. 调整管路固定

　　服务电话：0533-8225566 15064318988

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